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      半導體硅片生產(chǎn)用超純水處理設備

      產(chǎn)品介紹
      硅片,是制作集成電路的重要材料,通過對硅片進行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力??茖W技術(shù)的發(fā)展不斷推動著半導體的發(fā)展。自動化和計算機等技術(shù)發(fā)展,使硅片(集成電路)這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防,甚至悄悄進入每一個家庭。
      工藝設計
      1、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透設備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點
      2、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點
      3、原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點
      設備特點
      1、連續(xù)運行禪水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。
      2、系統(tǒng)運行可靠性穩(wěn)定。
      3、運行成本低。
      4、占地面積小。
      5、自動化程度高。
      6、操作及維護簡單,無需接觸酸堿。
      7、使用安全及環(huán)境良好。
      8、無污水排放,無環(huán)境污染。
      技術(shù)參數(shù)
      電導率:2-10μS/cm(25℃)
      PH值:6.5-9
      水溫度:5~35℃
      總硬度:<0.5ppm
      有機物:<0.5 ppm,TOC為零
      氧化物:≤0.05ppm
      鐵、錳:<0.01ppm
      二氧化硅:<0.05 ppm
      二氧化碳:<5ppm
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